檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "鄧昭瑞".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="光柵干涉術"
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本研究提出一套共面偵測分束器式光柵干涉儀，此套干涉儀採用「雙繞射式」的光路設計進行系統開發，透過光柵與反射鏡的搭配使通過光柵後的繞射光束再次穿過光柵形成二次繞射，用以引進加倍的的相位變化量，可有效提…
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隨著工業技術快速發展的同時，對於高精度與高性能的精密位移量測技術需求與日俱增，眾多量測技術中又以雷射干涉儀最具發展潛力。本研究提出一套創新的雙頻共面偵測雙繞射式雷射干涉儀，此套干涉儀以「光柵」作為技…
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本研究提出一套以「多次繞射」為設計概念進行系統開發的「三繞射式雙光柵干涉儀」，用以進行精密位移及旋轉角度量測。此套「三繞射式雙光柵干涉儀」具備外差干涉術、光柵干涉術、三繞射式光路及共面偵測式光路等技…